- рисунок слоя фоторезиста
- photoresist pattern
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… … Физическая энциклопедия
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
Микроэлектроника — область электроники (См. Электроника), занимающаяся созданием электронных функциональных узлов, блоков и устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. Возникновение М. в начале 60 х гг. 20 в. было вызвано непрерывным усложнением… … Большая советская энциклопедия
Печатная плата — со смонтированными на ней электронными компонентами … Википедия
Лазерно-утюжная технология — Печатная плата с дефектом, полученная с помощью лазерно утюжной технологии. Перевод рисунка печатных проводников с бумаги на ф … Википедия
Лазерно-утюговая технология — Печатная плата с дефектом, полученная с помощью лазерно утюговой технологии. Перевод рисунка печатных проводников с бумаги на фольгированный текстолит Лазерно утюжная технология (ЛУТ) прижившееся среди радиолюбителей название технологии… … Википедия
фотолитография — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
photolithography — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.